真空技術(shù)中習(xí)慣以各向同性的中性氣體的壓力來表示真空度的高低。通常把用于測(cè)量比大氣壓小得多的氣體壓力的工具稱為真空計(jì)或真空規(guī)．由干指定空間內(nèi)被測(cè)氣體大多數(shù)為混合氣體．因此．一般意義上的真空測(cè)量應(yīng)屬于混合氣體的全壓力測(cè)量。所用的真空計(jì)也是測(cè)量全壓力的真空計(jì)．
真空測(cè)量技術(shù)還包括氣體成分分析和分壓力測(cè)量?jī)煞矫鎯?nèi)容。前者是指定性地判斷殘余氣體中包含有哪些種類氣體成分并大略估計(jì)各自所占的比例．后者則是指在能滿足一定精度要求的條件下定量測(cè)定各種氣體成分的分壓力值。所使用的儀器基本是不同類型的質(zhì)譜計(jì)．分別稱為殘余氣體分析儀和分壓力計(jì)。
目前所采用的真空計(jì)．一種是從其本身測(cè)得的壓強(qiáng)物理量中直接算出氣體的壓力值．這就是絕對(duì)真空計(jì)，另一種是通過與氣體壓力有關(guān)的物理量以間接方法反映出所測(cè)的氣體壓力值．這就是相對(duì)真空計(jì)。由于相對(duì)真空計(jì)必須通過絕對(duì)真空計(jì)的校準(zhǔn)才能準(zhǔn)確地對(duì)真空度進(jìn)行測(cè)量．因此在真空測(cè)量技術(shù)中除了應(yīng)包括對(duì)氣體全壓力和分壓力的測(cè)量外．還必須把真計(jì)的校準(zhǔn)問題納入其內(nèi)。
